Digital etching of GaAs using alternative incidence of CL radicals and low energy Ar ions

Takashi Meguro, Masashi Ishll, Hirokazu Kodama, Manabu Hamagaki, Tamio Hara, Yasuhiro Yamamoto, Yoshinobu Aoyagi

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フィンガープリント

「Digital etching of GaAs using alternative incidence of CL radicals and low energy Ar ions」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Keyphrases

Engineering

Material Science

Physics